日本syscom振動/位移分析裝置激光測量儀 MEMSMap 510 特點介紹

Memsmap 510使用CCD相機(jī)和顯微鏡鏡頭對微小物體（0.1毫米或以上）進(jìn)行振動位移分析。

將激光照射到待測物體上，物體反射的激光與內(nèi)部參考激光之間會產(chǎn)生干涉條紋。使用高精度顯微鏡鏡頭和 CCD 相機(jī)通過圖像處理板將這些干涉條紋作為數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)捕獲到 PC 中。MEMSMAP可以使用兩種不同的方法來測量被測物體的振動和變形：實時模式和相位調(diào)制方法。

在實時模式下，振動和變形以重疊的條紋圖案（輪廓圖）顯示在物體圖像上。通過掃頻，可以輕松觀察共振點處的振動模式。此外，通過使用相位調(diào)制方法，可以以動畫或3D繪圖的形式顯示振動模式和位移模式，從而可以進(jìn)行出色的定量和定性振動和位移分析。

下圖顯示了尺寸為 3 x 3 mm 的硅膠膜在氣壓作用下變形時的位移模式。通過將條紋圖案實時重疊在測量對象上來顯示位移量，可以輕松確認(rèn)位移分析。

通過使用相位調(diào)制，測量靈敏度可提高至大約 1 nm。

日本syscom振動/位移分析裝置激光測量儀 MEMSMap 510 規(guī)格參數(shù)

下面的動畫是 14.3MHz 超聲波組件和 37MHz 石英晶體振動模式 3D 繪圖示例。

該 3D 圖還包含實際振動狀態(tài)的相位信息，通過將相位信息從 0 更改為 2π，您可以在動畫中檢查對象的振動狀態(tài)。

當(dāng)在振動測量中使用相位調(diào)制方法時，Micromap還控制被測物體的激勵頻率，可以測量約1納米的振動幅度和高達(dá)數(shù)百兆赫茲的頻率范圍。