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產(chǎn)品展示/ Product display

您的位置:首頁  /  產(chǎn)品展示  /  過程控制儀器  /  壓力控制器  /  L20SS/L20SH/L20SS-CO日本YUTAKA半導(dǎo)體用壓力控制設(shè)備L20系列

日本YUTAKA半導(dǎo)體用壓力控制設(shè)備L20系列

日本YUTAKA半導(dǎo)體用壓力控制設(shè)備L20系列 L20SS/L20SH/L20SS-CO

L20系列是專為高壓半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品?;窘Y(jié)構(gòu)是外部金屬密封和焊接接頭,使其成為具有優(yōu)異的外部泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。此外,我們還提供多種選擇來容納各種高純度氣體,使其成為氣瓶柜的理想選擇。

  • 產(chǎn)品型號:L20SS/L20SH/L20SS-CO
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-10-09
  • 訪  問  量:139
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詳細(xì)介紹

日本YUTAKA半導(dǎo)體用壓力控制設(shè)備L20系列 L20SS/L20SH/L20SS-CO 特點(diǎn)介紹


L20系列是專為高壓半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。基本結(jié)構(gòu)是外部金屬密封和焊接接頭,使其成為具有優(yōu)異的外部泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。

此外,我們還提供多種選擇來容納各種高純度氣體,使其成為氣瓶柜的理想選擇。


日本YUTAKA半導(dǎo)體用壓力控制設(shè)備L20系列 L20SS/L20SH/L20SS-CO 規(guī)格參數(shù)


入口壓力 14.8MPa以下(最大19.6MPa) 

調(diào)節(jié)壓力 Max.0.99MPa

(范圍規(guī)格:0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa) 

氣源壓力波動(dòng) 入口壓力:每0.1MPa,調(diào)節(jié)壓力變化量0.00021MPa 

承受壓力 22.2MPa(進(jìn)口側(cè)) 

CV值 0.09 

工作溫度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He(真空法) 

內(nèi)部容積 4.67cm(不含3個(gè)壓力表及接頭) 

大量的 約1.29公斤 

主體SUS316L 

調(diào)節(jié)閥桿/閥座SUS316L 哈氏合金®C-22 SUS316L 

隔膜哈氏合金®C-22 SUS316L 

閥座PCTFE(Daiflon®) 

緩沖彈簧不銹鋼316 哈氏合金® 不銹鋼316 

壓力表連接密封墊片你 不銹鋼316 

非氣體接觸部分 

閥蓋 (A)不銹鋼316 

發(fā)動(dòng)機(jī)罩 (B)黃銅(鍍鎳) 

帽SUS304 


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