日本e-yamato超高純調(diào)壓閥壓力調(diào)節(jié)器分析儀 SRQ-1HL/SRQ-1HM/SRQ-1LL 特點(diǎn)介紹

高純度氣體（純度99.999~99.99999%）和腐蝕性氣體的供應(yīng)。

由于是雙級(jí)減壓結(jié)構(gòu)，因此二次側(cè)壓力的變動(dòng)極小，可穩(wěn)定地供給氣體。

可作為經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)大臣認(rèn)證品生產(chǎn)。在高壓氣體設(shè)備中使用時(shí)，請(qǐng)選擇合格品。

流動(dòng)方向也可制作左側(cè)入口（左高壓）型。

日本e-yamato超高純調(diào)壓閥壓力調(diào)節(jié)器分析儀 SRQ-1HL/SRQ-1HM/SRQ-1LL 規(guī)格參數(shù)

SRQ-1HM

SRQ-1HL

SRQ-1LL

一次側(cè)壓力（MPa）

1~20

1~20

1~3

二次倒使用壓力（MPa）

0.5~2

0.1~0.99

使用溫度(C)

-10~40（設(shè)計(jì)溫度:-10~7攝氏度）1/4

外部響應(yīng)量（Pam/sec）

螺紋接合:1.01x10以下焊接連接:1.01x11以下

接氣主本體

SUS316L

要部材質(zhì)

材質(zhì)記號(hào)

隔膜

SUS316L（八固醇規(guī)格:HC-22）

諾科脫明弁材

PCTFE

PCTFE

PTFE

是P476其他

SUS316L（海斯特洛型號(hào):HC-22）

過濾器粗糙度

40μm量（kB）

1.3

1.3

1.3

標(biāo)準(zhǔn)流量/min（nor.N情況）

320(P=15MPa.Pz=2MPa)

160(P=15MPa,Pz=0.99MPa)

80(P:=3MPa,P==0.99MPa)

最大流量2/min（nor.N）

400(Pl=15MPa.Pz=2MPa)

200(P=15MPa.Pz=0.99MPa)

100(P=3MPa.Pz=0.99MPa)