PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類TECHNICAL ARTICLES
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產(chǎn)品展示/ Product display
日本e-yamato半導(dǎo)體壓力調(diào)節(jié)器減壓閥分析儀 ER-1HL可用于半導(dǎo)體用用途的壓力調(diào)節(jié)器。半導(dǎo)體·太陽(yáng)電池·液晶·LED生產(chǎn)工廠和正在研究的大學(xué)推薦給研究機(jī)構(gòu)。制造時(shí),高維度清潔度為了滿足高氣密性、高可靠性的“克林一魯一"實(shí)施內(nèi)組裝、高性能清洗、全數(shù)電阻測(cè)試。測(cè)試采用SEMI FO1方法進(jìn)行,符合標(biāo)準(zhǔn)。
聯(lián)系電話:13823182047
日本e-yamato半導(dǎo)體壓力調(diào)節(jié)器減壓閥分析儀 ER-1HL 特點(diǎn)介紹
可用于半導(dǎo)體用用途的壓力調(diào)節(jié)器。
半導(dǎo)體·太陽(yáng)電池·液晶·LED生產(chǎn)工廠和正在研究的大學(xué)推薦給研究機(jī)構(gòu)。
制造時(shí),高維度清潔度為了滿足高氣密性、高可靠性的“克林一魯一"
實(shí)施內(nèi)組裝、高性能清洗、全數(shù)電阻測(cè)試。
測(cè)試采用SEMI FO1方法進(jìn)行,符合標(biāo)準(zhǔn)。
日本e-yamato半導(dǎo)體壓力調(diào)節(jié)器減壓閥分析儀 ER-1HL 規(guī)格參數(shù)
ER-1HL
一次側(cè)壓力(MPa)
2~15
二次倒使用壓力(MPa)
0.1~0.99
使用溫度(度C)
-5~40(設(shè)計(jì)溫度:-10~7攝氏度)徑1/4
外部記錄量(Pam2/sec)
螺紋接頭:1.3x10以下焊接頭:1.3X10以下
祖立環(huán)境
螺紋接頭:10000級(jí)焊接連接:1000級(jí)
純水洗凈
接氣主本體
SUS316L
要部材質(zhì)
材貿(mào)記號(hào)
隔膜SUS316L的脫出井材
氟樹(shù)脂是P.476其他
SUS316.氟樹(shù)脂
內(nèi)置過(guò)濾器單過(guò)濾過(guò)度5μm
重量(kg)1.3
標(biāo)準(zhǔn)流量2/min(nor.)
250(P=10MPa,Pz=0.99MPa)
最大流量2/min(nor)
300(P,=10MPa.P:=0.99MPa)
可用于半導(dǎo)體用用途的壓力調(diào)節(jié)器。
半導(dǎo)體·太陽(yáng)電池·液晶·LED生產(chǎn)工廠和正在研究的大學(xué)推薦給研究機(jī)構(gòu)。
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