PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類(lèi)TECHNICAL ARTICLES
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產(chǎn)品展示/ Product display
日本日酸TANAKA低壓用壓力調(diào)壓器減壓閥 TANAKA日酸 TORR-80-3S-3010-8SH8SH●TORR系列是憑借長(zhǎng)期的業(yè)績(jī)獲得高度信賴(lài)的“半導(dǎo)體氣體用壓力調(diào)整器的代名詞"的壓力調(diào)整器。
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日本日酸TANAKA低壓用壓力調(diào)壓器減壓閥 TANAKA日酸 TORR-80-3S-3010-8SH8SH 特點(diǎn)介紹
●TORR系列是憑借長(zhǎng)期的業(yè)績(jī)獲得高度信賴(lài)的“半導(dǎo)體氣體用壓力調(diào)整器的代名詞"的壓力調(diào)整器。
●組裝全部在0.3μm級(jí)1000的潔凈室進(jìn)行。
●在一次室的流路內(nèi)置過(guò)濾器,減少了內(nèi)部泄漏的發(fā)生。
●包括泄漏測(cè)試在內(nèi)的全部出貨檢驗(yàn)。
●還可制作電解研磨規(guī)格品。(接觸氣體金屬部表面粗糙度Ra0.25μm)
●TORR-80系列作為一次低壓用中流量機(jī)種,可用于液化氣體的一次減壓、需要流量的配管中使用的調(diào)整器等用途。
日本日酸TANAKA低壓用壓力調(diào)壓器減壓閥 TANAKA日酸 TORR-80-3S-3010-8SH8SH 規(guī)格參數(shù)
●使用材質(zhì)接觸氣體部主體:隔膜:過(guò)濾器:壓力表:接頭:其他接觸氣體部:非接觸氣體部蓋:調(diào)壓手柄:SUS316L(焊接連接規(guī)格中未內(nèi)置過(guò)濾器。)SUS316LSUS316(螺紋連接)SUS316L(焊接連接)SUS318L、SUS316、氟樹(shù)脂C3604ABS樹(shù)脂、C3604
●性能入口側(cè)最高使用壓:出口側(cè)最高使用壓:最大流量:使用溫度:重量:內(nèi)置過(guò)濾器過(guò)濾過(guò)度:出入口口徑:外部泄漏量:2.0MPa0.6MPa1,60 0L/min(或)(P1=1.5MPa、P2=0.6MPa、N2GAS)-5~40°C3.0kg20μm(焊接連接規(guī)格中未內(nèi)置過(guò)濾器)。)1/2"1.3 10-8Pa m3/sec以下
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