日本日酸TANAKA半導體高壓壓力調節(jié)器減壓閥 TANAKA日酸 TORR-2500-4W-B515-6VF6VF 特點介紹

●TORR系列是憑借長期的業(yè)績獲得高度信賴的“半導體氣體用壓力調整器的代名詞"的壓力調整器。

●組裝全部在0.3μm級1000的潔凈室進行。

●在一次室的流路內置過濾器，減少了內部泄漏的發(fā)生。

●包括泄漏測試在內的全部出貨檢驗。

●TORR-2500系列作為一次高壓用大流量機型，用于比TORR-2300流量要求更高的氣體供給設備等。

●由于沒有內置過濾器，請在配管上施工過濾器。

日本日酸TANAKA半導體高壓壓力調節(jié)器減壓閥 TANAKA日酸 TORR-2500-4W-B515-6VF6VF 規(guī)格參數(shù)

●性能入口側最高使用壓:出口側最高使用壓:最大流量:使用溫度:重量:內置過濾器過濾過度:出入口口徑:外部泄漏量:15MPa1.0MPa 180m3/h（無）（P1=8MPa、P2=1.0MPa、N2 GAS）-5～40°C4.9kg過濾器未裝入，請另行設置。3/8"1.3×10-6Pa m3/sec以下

●使用材質接觸氣體部主體:隔膜:壓力表:接頭:其他接觸氣體部:非接觸氣體部蓋:調壓手柄:SUS316L、SUS316、氟樹脂C3604S45C