PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本進口Anelva電容表真空表高精度測量壓力 M-342DG電容式壓力計“M-342DG"在壓力傳感器部分采用了小型硅MEMS芯片,最大限度地減少了溫度、振動和大氣壓力波動等外部環(huán)境的影響,并實現(xiàn)了高精度和穩(wěn)定的隔膜真空壓力測量。達(dá)到調(diào)零最小頻率的儀表。
聯(lián)系電話:13823182047
日本進口Anelva電容表真空表高精度測量壓力 M-342DG 特點介紹
電容式壓力計“M-342DG"在壓力傳感器部分采用了小型硅MEMS芯片,最大限度地減少了溫度、振動和大氣壓力波動等外部環(huán)境的影響,并實現(xiàn)了高精度和穩(wěn)定的隔膜真空壓力測量。
達(dá)到調(diào)零最小頻率的儀表。
高精度、穩(wěn)定的壓力測量
?出色的零點穩(wěn)定性
?溫度依賴性低,無需溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)即可實現(xiàn)出色的穩(wěn)定性
?出色的抗振性和噪音性
緊湊、低功耗
、重量 200 g、尺寸 W46 mm x H49 mm x L106 mm、輕量且緊湊 (*1)
、功耗 0.5 W
日本進口Anelva電容表真空表高精度測量壓力 M-342DG 規(guī)格參數(shù)
廣泛兼容真空壓力的高精度、長期穩(wěn)定測量
半導(dǎo)體、顯示器、太陽能電池等各種真空設(shè)備、
濺射、PECVD等真空成膜工藝壓力控制、監(jiān)視
/負(fù)載鎖定室、晶圓冷卻等氣體導(dǎo)入工藝、系統(tǒng)壓力管理。
用于醫(yī)療、生物、食品等行業(yè)的各種涂層、等離子體處理、真空密封、真空爐、分析設(shè)備、滅菌、真空泵評估、分子蒸餾等,以及各種研發(fā)應(yīng)用。
型號名稱M-342DG
-1D-1N-11-12-13
滿量程壓力 (Pa)13.33 133.3 1.333k 13.33k 133.3k
測量精度(讀數(shù)的%)0.20(23℃時)
零點溫度系數(shù)(% of FS/℃)0.01 0.005 0.002
量程溫度系數(shù)(%讀數(shù)/℃)0.01 0.005
分辨率(滿量程的%)0.01 0.005
測量下限壓力(滿量程的%)0.01
實際測量下限壓力(滿量程的%)0.05
實際控制下限壓力(滿量程的%)0.5
響應(yīng)速度(毫秒)100 30
壓力上限200 kPa(但是,對于NW16和NW25,內(nèi)部壓力不得為正)
*13.33 Pa規(guī)格為130 kPa
電源電壓(VDC)+13.5~26.4
功耗(瓦)0.5
郵箱:akiyama_zhou@163.com
傳真:
地址:廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號和健云谷2棟10層1002