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日本nisshooptical日商精光微米高度測(cè)量?jī)x

日本nisshooptical日商精光微米高度測(cè)量?jī)x

1. 這是一種新型深度和高度測(cè)量裝置,結(jié)合了使用光切割的狹縫圖像觀察和使用聚光圖像的AF(自動(dòng)對(duì)焦)跟蹤。

2. 連續(xù)跟蹤自動(dòng)對(duì)焦驅(qū)動(dòng)可實(shí)現(xiàn)快速、易于使用的測(cè)量,并具有高重復(fù)性。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
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  • 更新時(shí)間:2024-10-10
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日本nisshooptical日商精光微米高度測(cè)量?jī)x  特點(diǎn)介紹


1. 這是一種新型深度和高度測(cè)量裝置,結(jié)合了使用光切割的狹縫圖像觀察和使用聚光圖像的AF(自動(dòng)對(duì)焦)跟蹤。


2. 連續(xù)跟蹤自動(dòng)對(duì)焦驅(qū)動(dòng)可實(shí)現(xiàn)快速、易于使用的測(cè)量,并具有高重復(fù)性。


3. 由于該方法在觀察狹縫圖像投影的臺(tái)階形狀的同時(shí)進(jìn)行測(cè)量,因此可以實(shí)時(shí)識(shí)別測(cè)量屏幕上的高度,從而輕松確定需要測(cè)量的區(qū)域。 


 4. 這是一種狹縫圖像、點(diǎn)光圖像和電子線參考線的中心在測(cè)量點(diǎn)處都重合的測(cè)量系統(tǒng),通過(guò)檢查錯(cuò)位,可以防止測(cè)量值錯(cuò)誤。 


 5. 光切割仰角可根據(jù)應(yīng)用場(chǎng)合從標(biāo)準(zhǔn)90°至30°、60°、120°中選擇。 


日本nisshooptical日商精光微米高度測(cè)量?jī)x  規(guī)格參數(shù)


■ 觀察方法 

 光學(xué)切割法(利用狹縫光學(xué)系統(tǒng)測(cè)量深度和高度) 

■ 物鏡 

 固定放大倍率:10x(也可提供5x和20x) 

■ Z軸驅(qū)動(dòng)方式 

 使用聚光燈的 AF 連續(xù)跟蹤方法(可離線手動(dòng)測(cè)量) 

■ 投影狹縫 

 10μm半反射鏡型 

■ Z軸測(cè)量 

 Z軸數(shù)字線性規(guī)0.1μm讀數(shù) 

■ 重復(fù)性 

 ±1μm以?xún)?nèi) 

■ 使用的光源 

 半導(dǎo)體激光器(2級(jí))、鹵素光源 

清晰顯示深度、高度和水平差的光學(xué)切割方法...自動(dòng)捕捉代表橫截面形狀的細(xì)縫光、紅色激光點(diǎn)和水平差的變化,Z軸功能快速跟隨,并以數(shù)字方式記錄測(cè)量值。這是一種新型深度/高度測(cè)量裝置,結(jié)合了顯示功能(自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng))和電子線法參考線,擴(kuò)大了測(cè)量范圍,增加了其實(shí)用價(jià)值。

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