wkfluidhandling高純度電子計(jì)量泵、氣動(dòng)泵 PEM050/PPM100 特點(diǎn)介紹

PEM050電子步進(jìn)泵精確地在聚四氟乙烯流體路徑中分配1-50毫升的腐蝕性介質(zhì),用于化學(xué)補(bǔ)充、混合、加藥和加注。

這些可靠的泵具有支持的滾動(dòng)隔膜,最大限度地提高了放電壓力能力。

積極的控制閥通過(guò)消除典型的止回閥的變化來(lái)確保準(zhǔn)確性.他們提供多達(dá)5個(gè)可獨(dú)立控制可編程系統(tǒng)邏輯的放電端口。

ppm100氣動(dòng)計(jì)量泵精確地在聚四氟乙烯流體路徑中提供高達(dá)100毫升的高純度化學(xué)品。

它與一個(gè)支持滾動(dòng)膜片操作,以最大限度的放電壓力能力。兩個(gè)正控制閥通過(guò)消除典型的止回閥的變異性來(lái)確保準(zhǔn)確性。

wkfluidhandling高純度電子計(jì)量泵、氣動(dòng)泵 PEM050/PPM100 規(guī)格參數(shù)

于單濾液加工工具或預(yù)混容器,以確保精確的化學(xué)混合物,并允許直接在頭部現(xiàn)場(chǎng)混合。

該泵精確地分配高純度的化學(xué)品,以補(bǔ)充,混合,劑量和加注的應(yīng)用,以及清潔的簡(jiǎn)歷設(shè)備和光刻。

它們非常適合光刻膠、蝕刻和清潔工藝,在食人魚(yú)混合物中添加過(guò)氧化物,以及在引入襯底物之前將化學(xué)混合物混合到加工槽中。

可調(diào)沖程速度

安全、無(wú)泄漏操作,無(wú)維護(hù)

無(wú)暴露金屬防止腐蝕和污染

超純應(yīng)用的全流式流體路徑

帶PP外殼的聚氯乙烯軋式膜片

視覺(jué)位置參考,便于安裝和監(jiān)控

易于安裝和使用管理連接/外安裝服務(wù)

可在任何方向安裝

清潔室裝配、測(cè)試和包裝

漏檢港

自燃

緊湊的足跡

最小滯留量

正進(jìn)出口閥門(mén)防止通過(guò)