PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
Adwill-Global紫外線研磨用表面保護(hù)膠帶 E系列紫外線硬化型研磨用表面保護(hù)膠帶 Adwill E系列可在背面研磨時(shí)為晶圓正面提供可靠保護(hù),防止研磨水或殘?jiān)秩胛廴揪A正面。膠帶通過(guò)紫外線照射后,粘著力會(huì)大幅度弱化,方便從晶圓上剝離, 因此不會(huì)給晶圓造成壓力,同時(shí)適用于大尺寸、薄型晶圓的加工。
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Adwill-Global紫外線研磨用表面保護(hù)膠帶 E系列 特點(diǎn)介紹
紫外線硬化型研磨用表面保護(hù)膠帶 Adwill E系列可在背面研磨時(shí)為晶圓正面提供可靠保護(hù),防止研磨水或殘?jiān)秩胛廴揪A正面。
膠帶通過(guò)紫外線照射后,粘著力會(huì)大幅度弱化,方便從晶圓上剝離, 因此不會(huì)給晶圓造成壓力,同時(shí)適用于大尺寸、薄型晶圓的加工。
Adwill-Global紫外線研磨用表面保護(hù)膠帶 E系列 規(guī)格參數(shù)
1.設(shè)備的高可靠性
晶圓表面的污染極小,因此背面研磨后無(wú)需進(jìn)行晶圓清洗。
2.高潔凈度等級(jí)
粘著加工環(huán)境達(dá)到100級(jí)(以美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209b為基準(zhǔn))。
適用于帶錫球晶圓 和 薄型晶圓的膠帶產(chǎn)品
1.控制背面研磨后晶圓的翹曲、適用于錫球晶圓
通過(guò)在膠帶中增加應(yīng)力緩沖性能,防止因膠帶貼合時(shí)產(chǎn)生的殘余應(yīng)力所導(dǎo)致的背面研磨后晶圓翹曲。此外,利用錫球晶圓研磨時(shí), 通過(guò)即使驅(qū)散產(chǎn)生的應(yīng)力,以防止晶圓破損和晶圓研磨紋的產(chǎn)生,同時(shí)提高晶圓研磨厚度的均一性。
2.提高晶圓厚度的精度(T.T.V.*)
提高研磨后晶圓厚度的均一性膠帶具有良好的厚度均一性,可以保持背面研磨后的晶圓厚度精度。*T.T.V.=全局厚度公差
紫外線硬化型研磨用表面保護(hù)膠帶 Adwill E系列可在背面研磨時(shí)為晶圓正面提供可靠保護(hù),防止研磨水或殘?jiān)秩胛廴揪A正面。
膠帶通過(guò)紫外線照射后,粘著力會(huì)大幅度弱化,方便從晶圓上剝離, 因此不會(huì)給晶圓造成壓力,同時(shí)適用于大尺寸、薄型晶圓的加工。
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