PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本IKC驅(qū)動裝置波紋管式直導入機自動型 ILD-70A / ILD-114A系列直進機是一種使真空中的設備、設備在保持真空狀態(tài)的情況下從大氣側(cè)直線前進的產(chǎn)品。用于升降基板臺、輸送晶圓等。
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日本IKC驅(qū)動裝置波紋管式直導入機自動型 ILD-70A / ILD-114A系列 特點介紹
直進機是一種使真空中的設備、設備在保持真空狀態(tài)的情況下從大氣側(cè)直線前進的產(chǎn)品。用于升降基板臺、輸送晶圓等。
入江工研的直線送料機有波紋管密封型和磁力密封型兩種類型,并配有手動和自動驅(qū)動系統(tǒng),提供滿足各種需求的產(chǎn)品。
我們的焊接波紋管是內(nèi)置的,行程標準化為 10 至 200 毫米。
驅(qū)動部分密封采用焊接波紋管,因此可用于超高真空領域。
它的結(jié)構(gòu)極其簡單,注重功能,使其體積小、重量輕。手動型設計可承受250℃烘烤溫度。
1、驅(qū)動裝置密封采用入江工研生產(chǎn)的焊接波紋管,
可用于超高真空領域。
2. 備有行程100mm、150mm的各種尺寸(CF70、114、152、203)。
3、電機標配可逆電機。(步進電機等請另行咨詢)
4. 標準配備限位開關。電位計可作為位置檢測的選件
日本IKC驅(qū)動裝置波紋管式直導入機自動型 ILD-70A / ILD-114A系列 規(guī)格參數(shù)
ILD-70AILD-114A
型號后綴50 100 150 50 100 150
行程(毫米)50 100 150 50 100 150
連接法蘭CF70 CF114
驅(qū)動方式電機驅(qū)動
泄漏量1×10 -10 Pa·m 3 /s以下
烘烤溫度-
主要使用材料SUS304
波紋管材質(zhì)SUS316L
郵箱:akiyama_zhou@163.com
傳真:
地址:廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號和健云谷2棟10層1002