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日本YUTAKA高純度氣體壓力控制設(shè)備L18H系列 L18HSH/L18HSV/L18HVH L18H系列是一款1.5英寸SEMI標(biāo)準(zhǔn)塊壓力調(diào)節(jié)器，專(zhuān)為設(shè)備制造商的集成供氣系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。另外，作為L(zhǎng)18產(chǎn)品的后繼產(chǎn)品，流量特性也得到了極大的改善。 主體焊接接頭規(guī)格也非常適合節(jié)省閥箱空間。

日本YUTAKA壓力控制設(shè)備焊接金屬頭L12系列 L12/L12H/L12V L12系列是一款按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)的1.125英寸壓力調(diào)節(jié)器。 與集成供氣系統(tǒng)的 1.125 英寸和 1.5 英寸 W 密封件和 C 密封件兼容。 還提供高流量和真空規(guī)格以及面密封接頭類(lèi)型。

日本kk-ace氣壓計(jì)控制器EPS5000系列差壓表 EPS-5200/EPS-5150/EPS-5100 該裝置是防止單晶圓清洗設(shè)備的主排氣管道中的壓力波動(dòng)導(dǎo)致制造過(guò)程波動(dòng)的裝置。我們開(kāi)發(fā)的氣動(dòng)橡膠膨脹閥可實(shí)現(xiàn)高速壓力控制，尺寸小，壓力損失極低。

日本kk-ace壓力控制器內(nèi)置傳感器高精度測(cè)量 AP250/AP500 AP250、AP500是適合半導(dǎo)體制造工序等中使用的潔凈氣體的壓力控制的大流量型控制器，由氣壓控制部（相當(dāng)于AP100N）和圓頂型調(diào)節(jié)器部構(gòu)成。

日本kk-ace自動(dòng)壓力控制器AP200系列傳感器 AP-200N-01/AP-200N-02/AP-200N-03 該壓力控制器是通過(guò)接收安裝在二次側(cè)的壓力傳感器的信號(hào)，自動(dòng)將壓力調(diào)節(jié)至任意設(shè)定壓力的裝置。該裝置閥門(mén)采用無(wú)彈簧結(jié)構(gòu)，可處理超高壓氣體和腐蝕性氣體。與手動(dòng)調(diào)壓器不同，不會(huì)因流量變化而產(chǎn)生壓力波動(dòng)，因此可以進(jìn)行穩(wěn)定的壓力控制。

日本kk-ace壓力控制器半導(dǎo)體調(diào)節(jié)內(nèi)置傳感器 AP160M AP160M是與半導(dǎo)體制造工藝等中使用的氣體兼容的控制器，通過(guò)自動(dòng)控制比例電磁閥的開(kāi)度來(lái)自動(dòng)調(diào)節(jié)管道內(nèi)的壓力。由于它具有內(nèi)置壓力傳感器，因此無(wú)需添加外部傳感器。

日本kk-ace壓力控制器快速響應(yīng)內(nèi)置報(bào)警器 AP150 AP150N是一款適用于控制空氣、氮?dú)獾榷栊詺怏w時(shí)控制管道內(nèi)壓力和流量的控制器。 由于它具有內(nèi)置壓力傳感器，因此無(wú)需添加外部傳感器，但也可以安裝和使用另一個(gè)傳感器。

日本進(jìn)口kk-ace壓力控制器微流量型快速響應(yīng) AP100N AP100N是一款適合控制氣瓶和相對(duì)較小的罐體內(nèi)部壓力的控制器，使用空氣和氮?dú)獾榷栊詺怏w。通過(guò)控制兩個(gè)ON/OFF閥的打開(kāi)時(shí)間，調(diào)節(jié)壓力。